Přehled aplikací Thermo Scientific pro analýzy stopových kontaminantů při výrobě a zpracování polovodičů

Kontrola procesních kroků a prostředí pro splnění každodenních výzev týkajících se rutinní kontroly výrobků vyžadují použití mnoha různých charakterizačních technik, včetně mnoha technik využívajících analytické přístroje. Seznamte se s výrobou polovodičů a s tím, jak vám analytické přístroje Thermo Scientific mohou pomoci kontrolovat jednotlivé kroky procesu a analyzovat výrobní prostředí v průběhu celé výroby polovodičů, abyste zajistili dosažení nejvyšší možné výnosnosti.

Obr. 1: Přehled aplikací Thermo Scientific pro analýzy stopových kontaminantů při výrobě a zpracování polovodičů

Význam iontové chromatografie v polovodičovém průmyslu

Poptávka po polovodičových destičkách bude i nadále prudce růst s tím, jak poroste poptávka po mobilních zařízeních, cloud computingu, internetu věcí (IoT), samořízených automobilech, umělé inteligenci a dalších způsobech využití. Složitost procesů a náklady na výrobu polovodičů (FAB) jsou vysoké, a proto se pracovníci v tomto odvětví neustále snaží zvyšovat efektivitu výroby. Iontová kontaminace je velkým problémem v procesech výroby polovodičů, v hotových zařízeních a ve spotřebním materiálu, jako jsou utěrky pro čisté prostory, vatové tampony, rukavice a přepravky, protože malé množství kontaminace (ppb až ppm) může způsobit korozi, erozi, elektromigraci a zkrat v zařízeních, na destičkách nebo v jednotlivých finálních elektronických součástkách. Iontová chromatografie (IC) je účinná analytická technika, která dokáže rychle stanovit stopové i hlavní složky široké škály procesních kontaminantů v polovodičovém průmyslu. Tato technika poskytuje vhodný způsob kvantifikace běžných anorganických aniontů a kationtů, některých organických aditiv, přechodných kovů, polyvalentních iontů a organických chelatačních činidel. Díky online monitorovacímu procesu lze tak tyto složky stanovit rychle a ve velmi nízkých koncentracích, tak, aby bylo možné zahájit okamžité kroky k nápravě.

Obr. 2: Výroba a zpracování polovodičových součástek