Theta Probe je unikátní 'small-spot' analyzátor povrchových filmů (Thermo Scientific), který metodou Parallel ARXPS (Angle-resolved XPS), díky mikrofokusujícímu monochromátoru, umožňuje rychlou analýzu filmů do hloubek až 15 mm. Zařízení umožňuje sledování vzorků až do velikosti 70 x 70 x 25 mm. Díky automatizované, programovatelné manipulaci se vzorkem je dosaženo vysokého analytického výkonu. Podobně jako Escalab Xi+, je Theta Probe multitechnickou platformou, která může být konfigurována rozsáhlým volitelným příslušenstvím jako zdroj argonových klastrů „MAGCIS“. Mimo metodu XPS spektrometr Theta Probe ve standardní konfiguraci umožňuje i měření metodami ISS (Ion Scattering Spectroscopy), Reflected Electron Energy Loss Spectroscopy (REELS). Standardně spektrometr umožňuje též unikátní paralelní úhlově rozlišenou XPS (PARXPS), Theta Probe je vybavena duální kompenzací náboje a možností hloubkového profilování odprašováním argonovými ionty, volitelně argonovými klastry (MAGCIS). Spektrometr může být doplněn další přípravnou komorou, systémy pro chlazení a ohřev vzorku a dalšími. Zařízení umožňuje též konfigurace zahrnující automatizovanou UPS (Ultraviolet Photoemission Spectroscopy). Unikátním příslušenstvím je volitelně možnost integrovaného Ramanova spektrometru. Všechny funkce přístroje jsou plně digitálně řízené z prostředí řídícího a vyhodnocovacího programového balíku Avantage. Součástí SW Avantage je unikátní XPS Knowledge base.
Více na XPS Simplified.